Profilometrs

Kategorija

Materiālu raksturošana; Tīrtelpas; Mikroskopija

Ražotājs un modelis

Dažādi

Raksturlielumi

Dektak 150:

• Mērījumu tehnika: Stylus profilometrija
• Mērījumu iespējas: Div-dimensionālu virsmas profilu mērījumi
• Parauga apskate: 640 x 480-pikseļu (1/3in.-formāts) kamera, USB
  • Fiksēts palielinājums: 2.6mm FOV (166X ar 17in. monitoru)
  • Manuāls palielinājums: variējams 0.67 līdz 4.29mm (644X līdz 100X ar 17in. monitoru)
• Stylus sensors: Zemas inerces sensors (LIS 3)
• Stylus spēks: 0.03 līdz 15mg (N-Lite sensors)
• Stylus rādiuss: 12.5μm un 2.5μm
• Parauga turētājs: Manuāls X/Y/Θ, 100 x 100mm X-Y translācija, 360° rotācija, 150mm (6in.) pārvietojums,1μm atkārtojaība, 0.5μm izšķirtspēja
• Datorprogrammatūra: Dektak software, Windows XP, Step Detection software (std.), Stress Measurement software, 3D Vision analysis software
• Papilus:
  • Skenēšanas attālums: 55mm (2.16in.)
  • Datu punktu skaits vienam mērījumam: 60,000 lielākais
  • Parauga lielākais biezums: Līdz100mm (4in.)
  • Pamatnes lielākais izmērs: 150mm (6in.)
  • Soļa augstuma atkāŗtojamība: 6Å, 1 sigma uz 0.1μm soļa
  • Vertikālais attālums: 1mm (0.039in.)
  • Vertikālā attāluma izšķirtspēja: 1Å max. (pie 6.55μm apgabala)

Zygo 7100:

• Mērījumu tehika: 3D optiskais interferometrs
• Redzeslauks: no 0.5 līdz 2 mm
• Objektīvi: 5x, 10x, 50x
• Optiskā izšķirtspēja: ≤ 4µm
• x/y skenēšanas ātrums: ≤ 26µm/sek
• Parauga turētājs: Motorizēta 150 mm x/y kustība; Manuāla ±6° gala rotācija
• Parauga lielākais izmērs: 89 x 203 x 203 mm
• Vertikālā attāluma izšķirtspēja: 0.1nm
• Vertikālais attālums: 150µm
• Fokuss: Motorizēts, manuāls un auto-fokusa iespēja
• Tiešsaistes attēls: 23" TFT monitors ar tiešsaistes attēlu
• Skenēšanas un apstrādes datorprogrammatūra: ZYGO MetroPro