Kategorija
Materiālu sintēze un apstrāde; Tīrtelpas
Ražotājs un modelis
Sidrabe - SAF25/50
Raksturlielumi
- Pamatnes: stikls, metāls, plastmasa, keramika
- Pamatnes izmērs: 25 x 25 mm vai 50 x 50 mm
- Pamatnes temperatūra: -40 līdz +400ºC (atkarībā no procesa)
- Pamatspiediens: 1·10-7 Torr
- Uzstādītā jauda: 50 kW
Pielietojumi un iespējas
SAF25/50 multifunkcionālais R&D klastera instruments veidots zinātniskiem pētījumiem un paraugu sintēze, kā arī konceptu izstrādei un vispārīgam akadēmiskam darbam plāno kārtiņu tehnoloģiju jomā.
Instruments ir multifunkcionāla, paplašināma, modulāra un pielāgojama sistēma. Instruments sastāv no ievada un izvada kamerām aprīkotām ar jonu lielgabalu, centrālo pamatņu pārvietošanas kameru ar radiālu teleskopisku pārvietošanas roku un līdz pat 7 uzklāšanas kamerām. Pamatnes ir novietotas horizontāli uz pamatņu turētāja. Uzklāšanas pamatnes ir aprīkotas ar iespēju tās pagriezt un pārvietot augšupejošas nogulsnēšanas laikā.
Instrumenta multifunkcionalitāte un pielāgojamība ir atainota galvenajās sastāvdaļās:
- Katra kamera darbojas neatkarīgi no pārējām atsūknēšanas, kontroles un savienojumu ziņā. Izgulsnēšanas kameras un izgulsnēšanas avoti ir savstarpēji maināmi
- Centrālā kamera nepieļauj procesu savstarpēju piesārņošanu un norošina pamatņu pārvietošanu bez nepieciešamības kameras lieki atsūknēt
- Dažādu tipu nogulsnēšanas avoti var tikt integrēti, tajā skaitā termiskās sublimācijas šūnas, pretestību laivas, tīģeļi un magnetroni
- Dvīņu, viena un divu magnetronu sistēmas var darbināt ar DC, pulsu DC, MF un RF barokļiem. Pamatņu kontakta un bezkontakta sildīšana un dzesēšana ir iespējama
- Lai ievadītu un pārvaldītu pamatnes inertā atmosfērā, ir iespējams pievienot sistēmai cimdu kasti un pamatņu magazīnu
- Sitēmai ir izveidots provizorisks skaits vietu dažādu instrumentāciju un tehnoloģisko aksesuāru pievienošanai
- Turbomolekulārie un divpakāpju sausie mehāniskie vakuumsūkņi ir noklusējuma konfigurācijas sastāvā. Kontroles sistēma var darboties pusautomātiskā un manuālā režīmā