Litogrāfijas masku regulētājs

Kategorija

Materiālu sintēze un apstrāde; Spektroskopijas metodes un lāzeri 

Ražotājs un modelis

Suss Microtec - MA/BA6 Gen4

Raksturlielumi

Tehniskie raksturlielumi:

• 350 W dzīvsudraba lampa
• Novietošanas režīms: Augšas daļas
• Pamatnes biezums: līdz 6 mm
• Apgaismojuma režīmi: Tuvuma, vāja kontakta, izteikta kontakta, vakuuma kontakta

Galvas:

• 1 collas kvadrāta galva paraugiem ar izmēru virs 10x10 mm līdz 1x1 collai
• 2x2 collu kvadrāts
• 4 collu (100 mm) standarta pamatne

Masku turētāji:

• 2 collu
• 3 collu, iespējams izmantot ar attāluma indikatoriem
• 5 collu, iespējams izmantot ar attāluma indikatoriem

Filtri:

• i-line filtrs
• ND33 filtrs

Objektīvi:

• 5x
• 7.5 nobīdes