Kategorija
Materiālu sintēze un apstrāde; Spektroskopijas metodes un lāzeri
Ražotājs un modelis
Heidelberg Instruments - µPG 101
Raksturlielumi
Starojuma avots: 375 nm, lāzeris
Lielākā intensitāte: 70 mW
Rakstīšanas ātrums: 5 mm2/min
Novietojuma tolerance: 200 nm (3σ vērtība) ar 120 nm manu nelīdzenumu
Lielākais rakstīšanas laukums: 90 x 90 mm
Pielietojumi un iespējas
Heidelberg µPG ir tiešs rakstītājs, litogrāfijas sistēma, kurai nav nepieciešamas maskas. Rakstītājā izmanto UV lāzera staru, kuru selektīvi pakļauj virsmām uz parauga.
Rakstītāja galva definē raksturīgo veidojumu izmēru, kas šī brīža uzstādījumos ir zem 1µm.